프로세스 제어

강력하고 효율적인 팹 중심 모델

PDF 솔루션은 팹 모델링에 대한 고유한 하향식 접근 방식을 채택하고 있습니다. 당사의 팹 중심 프로세스 제어 접근 방식은 DEX(데이터 교환 네트워크)를 통해 자동으로 수집되고 통합되는 프론트엔드 및 백엔드 데이터를 모두 활용하여 강력한 시그니처 분석 및 진단을 제공합니다. 이 접근 방식은 '도구별' 분산 배포에 비해 더 효율적인 배포를 가능하게 하고 도구 및 공장 수준에서 의사 결정과 제어를 가능하게 합니다.

이탈 진단 및 변동성 제어

공정 및 계측 교대, 파라미터 드리프트, 예방적 유지보수 및 소모품 이벤트 감지를 수행하기 위한 FDC 공구 센서 레벨 진단 및 드릴다운을 통해 이탈 이벤트를 자동으로 감지합니다.

변동성 감소

수율, 장치 파라메트릭 및 계측을 위한 툴 제어(동적 SPC)에 대한 피드백에 대한 응답 상관관계를 유도하는 고급 진단을 통한 원스텝 파라미터 스크리닝

프로세스 제어의 주요 특징

• 기존 FDC 기능
• 기존 센서 수집기를 사용하거나 당사 센서 수집기를 사용하세요.
• 오프라인 모델 생성 및 시뮬레이션
• 구성 버전 관리
• 실시간 대화형 보고
• OCAP(통제 불능 조치 계획) 알람
• 온라인 SPC
• 승인 루프
• 요약 및 실시간 FDC 데이터 결합

TIBCO가 제공하는 Exensio 비주얼라이제이션