"규칙 앙상블을 사용한 수율 모델링", 첨단 반도체 제조 컨퍼런스, 2007
요약: 이 백서에서는 수율 손실 특성화 문제에 규칙 앙상블이라는 새로운 통계 모델링 알고리즘을 적용하는 방법을 소개합니다. 수율 손실 모델링은 회귀 또는 분류 문제로 간주되며, 데이터에서 파생된 간단한 규칙의 선형 조합으로 모델을 구성합니다. 이러한 규칙 조합은 최상의 방법과 경쟁할 수 있는 예측 모델을 생성하는 것으로 나타났습니다. 그러나 이러한 규칙은 정확도가 높을 뿐만 아니라 이해하기 쉽습니다. 마찬가지로 각 규칙과 각 변수의 관련성 정도도 평가할 수 있습니다. 또한 이 알고리즘은 다른 변수와의 상호작용에 관여하는 변수와 이러한 상호작용의 강도 및 정도를 자동으로 식별하는 방법론도 제공합니다. 이 방법의 해석 이점을 설명하기 위해 반도체 제조 데이터에 대한 분석이 제공됩니다.
키워드: 수익률 모델링, 예측 학습, 의사 결정 트리